PVD装置用消耗部品

【 1 】AN社 ウェハーホルダー、シャッター板、コリメーター部品例

AN社 ウェハーホルダー、シャッター板、コリメーター部品例AN社 ウェハーホルダー、シャッター板、コリメーター部品例

AN社 ウェハーホルダー、シャッター板、コリメーター部品例

【 2 】 AM,AJ社 クランプリング、シールド部品例

AM,AJ社 クランプリング、シールド部品例AM,AJ社 クランプリング、シールド部品例AM,AJ社 クランプリング、シールド部品例

【 3 】シャッター、シールド部品例

シャッター、シールド部品例シャッター、シールド部品例シャッター、シールド部品例

【 4 】ALキャリア部品(改造、軽量化も可能)

ALキャリア部品(改造、軽量化も可能)ALキャリア部品(改造、軽量化も可能)

【 5 】バッキングプレート例

バッキングプレート例

【 6 】その他部品例

PVD装置用消耗部品例PVD装置用消耗部品例PVD装置用消耗部品例

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