CVD装置用消耗部品

【 1 】シャワーヘッド、フェイスプレート関連部品
   (加工〜表面処理〜洗浄、クリーンパックまで)

* 一部純正品、コンタミ対策改良品も扱っております。

  • シャワーヘッド、フェイスプレート関連部品
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【 2 】Ni、インコネル部品例

  • Ni、インコネル部品例

【 3 】スピンドルシャフト・その他部品例

  • スピンドルシャフト例
  • CVD装置用消耗部品

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