イオン注入装置用消耗部品

【 1 】イオンソースヘッドアッセンブリー例

イオンソースヘッドアッセンブリー例イオンソースヘッドアッセンブリー例イオンソースヘッドアッセンブリー例

【 2 】部品例

モリブデン、タングステン、タンタル部品例
モリブデン、タングステン、タンタル部品例モリブデン、タングステン、タンタル部品例

モリブデン、タングステン、タンタル部品例モリブデン、タングステン、タンタル部品例

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モリブデン、タングステン、タンタル部品例モリブデン、タングステン、タンタル部品例

モリブデン、タングステン、タンタル部品例モリブデン、タングステン、タンタル部品例

BN、Al2O3部品例
BN、Al2O3部品例BN、Al2O3部品例

【 3 】ディスク部品及びオーバーホール例

ディスク部品及びオーバーホール例ディスク部品及びオーバーホール例ディスク部品及びオーバーホール例

【 4 】エレクトロード部ASSY及びグラファイト部品例

エレクトロード部ASSY及びグラファイト部品例

【 5 】液晶向け イオン注入ソース、エレクトロード、PFE部品例

* Mo,W,Ta部品、Ag,Cu,Sus部品、Al2O3,BN部品等
液晶向け イオン注入ソース、エレクトロード、PFE部品例液晶向け イオン注入ソース、エレクトロード、PFE部品例 液晶向け イオン注入ソース、エレクトロード、PFE部品例

液晶向け イオン注入ソース、エレクトロード、PFE部品例

【 6 】その他・部品例

二次ソース化、改造、修理等お手伝いさせていただきます。
ベローズ製作、修理例ベローズ製作、修理例ベローズ製作、修理例

カップリングフィラメントフィードスルー

インシュレーター・ベスペル

ベローズ製作、修理例

コネクタークリンプSUS補正板

SUS補正板アノード

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